概述技术参数主要技术参数:• 操作模式:静电沉积方法• 颗粒物类型:固体或非挥发性液体• 粒径范围:2~100nm•流量范围:0.2~2.5 L/min•环境温度:10~50℃• 环境湿度:0~90% RH (无冷凝水)相关条目流量范围