電子探針顯微鏡

主要用途

用于地質、冶金、電子、建材、環境科學、半導體及材料科學等樣品，可做固體樣品的微區定性和定量分析，X射線線面掃描及背散射與二次電子圖像等分析，包括：1.元素定性和定量分析，可做礦物鑒定；2.樣品微區的表面形态，化學成份和微結構的分析；3.狀态分析，确定元素的賦存狀态。

指标信息

三道X射線波譜儀和一台能譜儀，常用分光晶體有LIF PET TAP等。X射線射角40°，放大倍率50～70000，加速電壓0～50kV.二次電子圖像分辨率70?，真空度：電子槍1×10-7乇，樣品室1×10-8乇。Sun工作站Unix系統多任務多窗口操作系統。新添PC2，PC3多層膜晶片，可以用其進行超輕元素B，C，N，O，F等元素的測定。同時在最近我們還将安裝從CAMECA公司購買的陰極發光探頭可以用以進行陰極發光成圖