使用膜厚监控
1.打开总电源,打开氩气开关(两成保持在0.035Mpa左右,溅射时也要注意氩气的流量)。
2.按主机背面的开关按钮,进入开机界面,根据提示进行下面一系列的操作。
3.接下来仪器就开始自动洗靶,自动溅射,溅射结束后要稍等片刻,然后按stop放气。待放气操作完成后,开盖,取出样品。
4.Target B type操作同上。
不用末后监控
1.其余操作步骤同上,但要根据自己的需要设置溅射电流和溅射时间(最长时间是4min),和循环次数(最多循环9次),按上下键设置时间。
2.接下来仪器就开始自动洗靶,自动溅射,溅射结束后要稍等片刻,然后按stop放气。待放气操作完成后,开盖,取出样品。
3.B靶操作同A靶。