概述技術參數主要技術參數:• 操作模式:靜電沉積方法• 顆粒物類型:固體或非揮發性液體• 粒徑範圍:2~100nm•流量範圍:0.2~2.5 L/min•環境溫度:10~50℃• 環境濕度:0~90% RH (無冷凝水)相關條目流量範圍