基本介绍
标配能谱仪（EDS）和波谱仪（WDS）接口，领先的 X 射线几何条件对所 有样品提供了最精确的分析。对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。可选择 LaB6 高亮度光源，在与 X 射线分析相适应的探针 电流的性能上提高到一个新 的水平。在 8.5 mm 的分析工作距离，EVO® 18 能够处理的 样品可达 250 mm 直径和 145mm 高。此外，共面的设计为 EBSD 与 EDS 的联合使用提 供了理想的几何条件。无论何时对于你的材料分析的挑战，EVO® 18 都能使你的 样品清晰可见。
● 配备 X 射线能谱仪并具有领先的 X 射线分析几何条件
● 使用可变压力工作模式进行 样品的电荷中和
● 大的样品台移动范围
● 电子束衬管用于增强成像与 分析
● 用可选的 LaB6 电子源进行高性能成像
技术参数
成像方案: 导体 非导体 气体析出样品
分辨率: 3.0 nm @ 30 kV (SE 与 W)
2.0 nm @ 30 kV (SE 带有 )
4.5 nm @ 30 kV (VP 模式 - BSD 或 SE)
加速电压：0.2 - 30 kV
放大倍数: 5 - 1,000,000 x
视野: 6 mm 在分析工作距离(AWD)
X 射线分析: 8.5 mm AWD，35°出射角
OptiBeam®*模式: 分辨率、景深、分析、大视野
压力范围: 10 - 400 Pa 用空气或可选的水蒸汽
可选探测器: ZEISS BSD 用于所有模式- 四象限半导体二极管探测器
VPSE - 可变压力二次电子探测器
SCD - 样品电流探测器
样品室尺寸: 365 mm (Φ) x 255 mm (h)
5 轴电动计算机对中样品台: X = 125 mm
Y = 125 mm
Z = 50 mm (35 mm 电动)
最大样品高度 120 mm
T = 0 - 90°
R = 360°(连续)
样品台由鼠标、操纵杆和控制板控制
未来保证升级途径: 电子束衬管
扩展压力
水蒸汽 VP 气体
图像处理: 分辨率可达 3072 x 2304 像素 用叠加和平均方式进行信号采集
图像显示: 高对比度彩色平板 TFT 显示器用于以 1024 x 768 像素显示 SEM 图像
系统控制: 用鼠标和键盘操作的 SmartSEM™** GUI多语言简明的 GUI Windows® XP 操作系统
实用要求: 100 – 230 V, 50 或 60Hz 单相 不需要水冷
OptiBeam®* — 以主动式镜筒控制实现最高分辨率、最大视野或者最佳景深
SmartSEM™** — 第五代扫描电镜控制图形用户界面
