中頻交流磁控濺射電源

中頻交流磁控濺射電源

中頻交流磁控濺射電源
中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式,交流正弦輸出,電源輸出頻率設為典型的中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載,兩個靶交替工作,因此濺射靶一個濺射周期内一半以上的時間為反向電壓截止濺射,使靶材表面積累電荷有的到充分洩放時,有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒,特别适用于反應膜層環境使用。